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光譜共焦傳感器在納米計(jì)中的應(yīng)用原理介紹
更新時(shí)間:2018-09-03   點(diǎn)擊次數(shù):1323次
  光譜共焦傳感器應(yīng)用于表面難以測(cè)量的物體(技術(shù)性及困難表面),是一種非接觸式輪廓測(cè)量的通用的測(cè)量解決方案。理想情況下,共焦傳感器適合于敏感的,軟的或液體的表面。適用于微機(jī)械工程,電氣工程,光學(xué)行業(yè),塑料和造紙行業(yè),半導(dǎo)體和PCB產(chǎn)業(yè)的檢測(cè),工具行業(yè)等。
  使用光譜共焦測(cè)量技術(shù),可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
  由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無(wú)能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),微型光譜共焦傳感器探頭,這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
  另一種非常適合光譜共焦傳感器的應(yīng)用是測(cè)量多層透明材料的厚度。與其他測(cè)量方法不同,光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí),僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。
  測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光,從而得到層厚信息。由于測(cè)量只使用白光,無(wú)需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會(huì)影響測(cè)量精度,甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法,探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。
  光譜共焦傳感器納米計(jì)主要特點(diǎn)
  1、納米級(jí)分辨率;與光強(qiáng)度無(wú)關(guān),與被測(cè)體反射系數(shù)無(wú)關(guān);
  2、堅(jiān)固的結(jié)構(gòu),使用壽命長(zhǎng);
  3、易操作且動(dòng)態(tài)測(cè)量可以達(dá)到很高的測(cè)量頻率,匹配自動(dòng)化的需求。操作人員不需要經(jīng)過專業(yè)的培訓(xùn)也能得到可靠的測(cè)量結(jié)果;
  4、NLS12傳感器,具有簡(jiǎn)化的獨(dú)立系統(tǒng),可以在工業(yè)或交通不便的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量;
  5、與三角反射法不同,幾乎無(wú)反射角要求,且無(wú)反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測(cè)量;
  6可以計(jì)算面積,厚度或體積;
  7、可進(jìn)行平整度的測(cè)量,高度或位置的測(cè)量;

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